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NIDEC 微細加工設備レーザー加工機 ABLASER

NIDEC精密加工解决方案(激光产品) LINEUP


 

微細レーザー加工機 ABLASER

レーザ加工は、被加工材に対して適切な光源を選択す ることにより、金属材料だけでなく機械加工や放電加工 が困難な脆性材料などの非金属材料にも幅広く適応可能 なことから、様々な分野で応用が試みられている。特に 近年高まってきた、高精度で高品位な微細穴加工ニーズ に対して、従来のレーザ穴あけ加工では材料への熱影響 が大きく穴径精度や加工面性状など品質を満たすことが できなかった。しかし近年では、ピコ秒などの短パルス レーザを用いレーザのピークパワーを上げることで、 照射点の材料を瞬時に蒸発させて周囲への熱影響が少ない アブレーション加工が可能になり、より高精度で高品位 な加工が可能となっている。一方、高能率化と高精度・ 高品位化の両者には二律背反があり、生産へ適応する ためにはこの課題の解決が求められている。

本稿では、当社が開発した微細レーザ加工機「ABLASER」の特徴と加工事例について紹介する。<三菱重工工作機械株式会社 先端生産システム研究センター 高付加価値機械グループ/上席主任 田内 拓至

2.ABLASERの概要

当社ではヘリカルドリリング方式を採用した、微細レ ーザ加工機「ABLASER」を開発した。外観を図1に示す。 微細で高品質な加工面が得られる短パルスレーザを、各種 光学素子を組み合わせ、精密工作機械のノウハウを活用 した独自のレーザヘッドにより、課題となっていた形状 精度を向上させた。主要構造物にグラナイトを使用し、 位置決め機構に精密スケールを設置することで、従来の レーザ加工機を超えるミクロンレベルの加工精度を達成 した。また5軸制御装置を搭載することで、曲面や複雑 形状の加工も可能としている。「ABLASER」は当社精密 加工機の開発技術とレーザ光学系の開発技術を結集し、 従来より高精密・高品質なレーザ加工を実現した機械である。